クリーンルーム前室の清浄度管理 | お役立ち情報 | パーティクルセンシングモニター専用ウェブサイト

Product Tips

お役立ち情報

クリーンルーム内に粗粒子を持ち込ませないための、前室管理は出来ていますか？

・前室をきれいにできているかをモニタリングできる製品を探している。
・導入コストを抑えるために、手ごろな価格帯の製品が欲しい。
・前室をきれいにするように使用者へ意識づけができるようにしたい。

クリーンルームは清浄度が高くなればなるほど、前室やエアシャワーの役割が重要で、粒子をクリーンルーム内に持ち込まないための対策が厳しくなります。従って、前室での粒子管理も、粒子対策の重要な要素となります。

今回のメルマガでは、5μm以上の粗粒子に焦点を当て、弊社の「パーティクルセンシングモニター AES-LPM」を紹介いたします。

やがて床に落下してたまることになる5～50μm以上の粗粒子がどれだけあるかの確認や、使用者が前室をきれいに使用するための意識づけや清掃のタイミングの判断にも役立ちますので、ぜひご一読下さい。

粗粒子計測モデル『AES-LPM』の製品概要を見る

AES-LPMの特長

　　▶ 5μm～50μmの粒子を計測

　　▶ 見やすい4段階のLED表示

　　▶ 異常を瞬時にお知らせ

当製品は測定環境に存在する5～50μm以上の粗粒子の個数濃度を、4つのLEDで表示します。それぞれのLEDに閾値を設けており、それを超えるとLEDが緑色から赤色に変わります。監視粒径は5、10、20、30、50μmから選択可能で、お客様にて監視したい粒径を変更できます。また、各LEDの個数閾値も同様に変更可能です。

測定したデータは専用ソフトウェアを介してCSVファイルで管理できます。経時的なデータの管理も簡単に行うことが可能です。

クリーンルーム前室での運用

前室で粗粒子を監視することで、クリーンルーム内への粒子持ち込みを防ぐのに役立ちます。精密電子部品等は粒子が付着すると製品不良に直結しますが、粒子を持ち込む原因をより厳密に管理することで、歩留まりの向上に寄与します。

また、4つのLEDにより前室に存在する粒子の個数を常時見える化します。これにより、使用者の汚染対策に対する意識向上や清掃頻度の効率化につなげることが可能になります。

1台10万円前後の価格設定にしているので、前室が複数存在する、測定ポイントが多数ある現場でも導入がしやすい製品となっています。