1つのクリーンルームでも気流の分布があり、
室内の空気清浄度を正しく管理するには、より多点で粒子測定をする必要があります。クリーンルームによっては数十～数百程度の測定ポイントがある場合もあります。
パーティクルカウンター1台を1箇所のみに置いているだけでは、一部の粒子測定しか行うことができず、十分な管理とは言えません。
しかしながら、パーティクルカウンターを多数保有するには高額な費用を要してしまう事により、1台のハンディータイプのパーティクルカウンターを使用して、複数のポイントを日常的に測定されているような事例も良く聞きます。
今回のメルマガでは、
安価で多点配備に適したパーティクルセンシングモニターAES-FPシリーズを紹介致します。
多点計測の重要性
弊社のクリーンブース（Class10,000程度）の5箇所にパーティクルセンシングモニターAES-FPシリーズをおいて測定をした所、下図の通りの結果になりました。場所ごとに粒子飛散量の多い、少ないが分かれる結果となりました。
一つのクリーンルーム内でも多点的に粒子をすることの重要性が分かります。
弊社のパーティクルセンシングモニターは、
一般的なパーティクルカウンターと比較して安価で販売可能です。日常的な常時モニタリング用途で、多点的な粒子管理を行いたい場合は、当製品が適しています。またパーティクルカウンターでの多点測定と比べて、測定の手間や時間を大幅に低減できますので、省人化にも寄与する事ができます。
ご興味がありましたらお気軽にお問い合わせくださいませ。
製品紹介
微粒子計測モデル AES-FPシリーズ
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クリーンルームに最適！ |
特長
・多点計測による一括管理かつ常時モニタリングすることで環境内の粒子分布を見える化できます。これにより環境内の清浄度管理に貢献します。
・弊社独自のPC用モニタリングソフトウェアを使用することで、
最大10台までモニターの一括管理が可能です。
・ご購入頂いたお客様には当製品の通信仕様書を開示しております。通信仕様書にしたがってお客様にてシステムを構築頂くことも可能です。
製品仕様
・0.3μm以上もしくは0.5μm以上の微粒子をモニタリングする製品。
・クリーンルーム等の空気清浄度監視用途向けのモニター。
・ISO14644-1やFed.Std-209Eに従ってClass6～8及びClass1,000～100,000(※1)の範囲で清浄度を常時モニタリング。
（※1 Class6・Class1,000は参考値）
粗粒子計測モデル AES-LPM
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コンタミネーション管理に
お役立ち！
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特長
・AES-LPM：5～50μm以上の粗粒子をモニタリングする製品。製品品質に直接影響を及ぼすコンタミネーション監視用途向け。
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温湿度センサ：パーティクルセンシングモニターのオプション製品。搭載することで、温湿度のモニタリングも可能に。
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モニタリングソフトウェア（有償）：マップ機能、グラフ機能、アラームリスト機能、メール通知機能が拡張機能として使用可能に。
モニタリングソフトウェア
・上述の2シリーズは、弊社独自のPC用モニタリングソフトウェアを使用することで、最大10台まで接続可能です。微粒子・粗粒子を同時に測定し、ソフトウェアを通じて一括管理可能です。
・また、ご購入頂いたお客様には当製品の通信仕様書を開示しております。通信仕様書にしたがってお客様にてシステムを構築頂くことも可能です。
クリーンルームの多点計測が重要な理由