粗粒子管理できていますか？

貴社の粒子監視、コンタミネーション対策は十分でしょうか？

弊社ではお客様から「製造工程の清浄環境では、微粒子を監視しているだけで、比較的大きな粒子（5μm以上）は監視していない。」という声をよく耳にします。

クリーンルーム等の清浄環境では、0.3μmや0.5μmといった微粒子の個数濃度を基準として空気清浄度の管理が行われます。
しかし、実際に製品品質に直接影響を及ぼすのは、5μm～数十μmサイズの粒子です。これらのコンタミネーションと呼ばれる異物が製造過程で製品に付着することすることで、品質不良を引き起こしています。

微粒子計測でクリーンルーム内の空気清浄度が維持できていたとしても、5μm以上の粒子は気流では捕集できず、やがて落下して室内に滞留します。さらに、それらが気流や人の動き等で舞い上がり、製品に付着することで品質不良に繋がるのです。つまり、微粒子計測で空気清浄度を維持・管理することに加えて、コンタミネーションも別途管理することが、製品品質の向上には重要になります。

実際に弊社でも自社クリーンブース内でAES-LPMを用いて実験をし、発塵イベント毎にコンタミネーションがどのくらい検知されるかを測定しました。



下図のように、人の出入りによってクリーンブース内で舞い上がった粗粒子を検知していることが分かります。


↑↑↑詳細のデータを確認したい方は、こちらまでお問い合わせください。



粗粒子モニター AES-LPM

弊社では、コンタミネーション管理にお役立ちできる製品として、粗粒子モニターAES-LPMを販売しています。

特長① 多点測定
微粒子に加えて、環境内で滞留しているコンタミネーションを多点的に常時モニタリングすることで、製品の品質維持と向上、および製造不良率低減に貢献します。

特長② アラーム出力
粒子の発生をリアルタイムで計測し、アラーム発報を出力することが可能です。異常への対応を早期に行うことに役立ちます。

特長③ データ管理
測定したデータをCSVファイルに出力することが出来ます。1日の中でいつどのタイミングで粒子が増えたのか、日々の環境推移の管理にお役立ちします。

製品仕様
・5～50μm以上の粗粒子をモニタリングする製品。製品品質に直接影響を及ぼすコンタミネーション監視用途向けのモニターです。
・低価格を追求したモニターで、多点的な設置に向いています。
・粗粒子の個数濃度を4段階のLEDで表示します。
・常時監視が可能で異常をリアルタイムにお知らせ出来ます。
・オプションで温湿度センサの搭載が可能のため、1台で温湿度のモニタリングも出来ます。



微粒子モニターAES-FPシリーズ

AES-LPMと同じコンセプトで、微粒子モニターAES-FPシリーズも販売しています。

特長
・多点計測による一括管理かつ常時モニタリングすることで環境内の粒子分布を見える化できます。これにより環境内の清浄度管理に貢献します。
・AES-LPMと同様、アラーム発報機能、CSV出力機能を搭載しています。

製品仕様
・0.3μm以上もしくは0.5μm以上の微粒子をモニタリング。
・クリーンルーム等の空気清浄度監視用途向けのモニターです。
・ISO14644-1やFed.Std-209Eに従ってClass6〜8及びClass1,000～100,000(※1)の範囲で清浄度を常時モニタリング。
（※1 Class6・Class1,000は参考値）



・上述の2シリーズは、弊社独自のPC用モニタリングソフトウェアを使用することで、最大10台まで接続可能です。微粒子・粗粒子を同時に測定し、ソフトウェアを通じて一括管理可能です。

・また、ご購入頂いたお客様には当製品の通信仕様書を開示しております。通信仕様書にしたがってお客様にてシステムを構築頂くことも可能です。

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