APPLICATION
用途事例
クリーンルーム
半導体、電子部品、光学部品など、様々な精密部品の製造現場において、クリーンルームは必要不可欠な存在となっています。製品の品質不良や製造ロスをできるだけ防ぐためには、製造環境の空気清浄度が保持できているかを常時監視する必要があります。
パーティクルセンシングモニターであれば、複数個所に設置してネットワークを組んで、異常の有無をリアルタイムで監視することが可能です。
電子部品・光学部品の製造工程
半導体や積層セラミックコンデンサを始めとした電子部品や、レンズなどの光学部品などを製造するクリーン環境において、空気清浄度を常時監視するニーズがますます高まっています。
また、製品の小型化・微細化がさらに進んでおり、浮遊せずに落下して付着することで品質不良に直結する数十μmサイズの異物（コンタミネーション）を合わせて監視する必要性が増しています。
自動車部品の製造工程
自動車産業については、駆動系ユニットを中心に様々な自動車部品において、その品質不良や不具合発生を防ぐための取り組みが求められています。
パーティクルセンシングモニターは、モニター表面のLEDで汚損度を可視化するだけではなく、通信で計測データを保存することが可能です。
換気システム異常（フィルター破損）検知
一般的に、クリーンルームでは、供給／循環する空気を清浄化するフィルターユニットが装備されています。
パーティクルセンシングモニターで空気清浄度を常時監視することで、フィルター破損などの異常イベントが発生した際に、リアルタイムで通知をして、製造ロスを最小限に留めることが可能となります。
