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大きなクリーンルームになるほど、空間全体の空気清浄度の濃度分布にばらつきが生じる可能性があるため、面積に応じて多数のポイントを測定することが求められ、これはJIS規格（JIS B9920-1：2019）でも定められています。
パーティクルセンシングモニターなら、クリーンルーム内の浮遊粒子の多点測定を同時に行うことができます！
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| クリーンルーム内の浮遊粒子状物質計測 |
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部屋面積に応じて多点測定 |
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各拠点のデータを一括管理 |
この記事ではパーティクルセンシングモニターが、空気清浄度の多点測定に有効であることを解説します。
空気中に浮遊する粒子状物質の種類
『浮遊粒子状物質（SPM）』とは粒径が10μｍ以下で空気中に浮遊する粒子のことをいいます。
工場内で発生する粉塵、焼却炉で発生するばい煙や自動車排ガスなど人的由来と、土壌の飛散、火山灰など自然由来によって生じます。
このなかで、粒径が2.5μm以下の浮遊粒子状物質が、『微小粒子状物質（PM2.5）』と定義されます。
また、粒径が10μｍを超える粒子で、大気中のすす、粉塵などのうち、沈降しやすい粒子のことを『降下ばいじん』といいます。
| 浮遊粒子状物質（SPM） |
浮遊粒子状物質（SPM） |
降下ばいじん |
| 粒径2.5μm以下 |
粒径10μm以下 |
粒径10μm以上 |
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浮遊粒子状物質に起因する製造工程の課題
SPMの管理が要求される製造工程の例と主な製造問題は以下の通りです。
 半導体製造工程
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 フィルム製造工程 |
 自動車塗装工程 |
 食品工場 |
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| 製品の品質劣化 |
装置の故障
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作業員の健康被害
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歩留まり低下 |
空気清浄度の多点測定の必要性
一般的な浮遊粒子状物質（SPM）の対策方法の例として、クリーンルームの設置、マスク・防塵服の着用、空気清浄機の設置が挙げられます。
そして、クリーンルーム内に発生する浮遊粒子状物質は主に、「前室からの持ち込み」と「機械・人からの発塵」によって発生します。
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一般環境からほこりなどの異物が直接クリーンルームに侵入しないよう、クリーンルームには前室と呼ばれる部屋が設けられていますが、ここには一般環境からの異物が持ち込まれてるため、一部の異物がクリーンルーム内に侵入してしまう場合があります。 |
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クリーンルーム内で発塵しないように、使用する装置を選定したり、防塵服を着用するといった対策が行われていますが、それでも防塵服からの発塵や装置から摩耗粒子の発生をゼロにすることは困難です。 |
このようなことが原因となり、同じクリーンルーム内でも場所によって浮遊粒子物質濃度は異なるため、JIS規格（JIS B9920-1:2019）では、多数の測定点数が必要とされています。
※JIS B9920-1:2019：クリーンルーム及び関連する制御環境-第一部：浮遊粒子数濃度による空気清浄度の分類
測定点の数の算出には規格内の表A.1を用いて最小測定点数を求めます。
50㎡の床面積のクリーンルームの場合、最低10カ所の浮遊粒子数濃度の測定が必要です。
ただ、一般的な浮遊粒子測定方法であるパーティクルカウンターを使用し、定期的にポイントを回って測定をするのはコスト高で時間もかかります。
パーティクルカウンターより安価なパーティクルセンシングモニターを設置すれば、複数台同時測定が可能となり、オンプレミスシステムの提案が可能です。
パーティクルセンシングモニターが多点測定に最適な理由
パーティクルセンシングモニターとパーティクルカウンターとの違いや、製品の仕様について詳しくは、資料をダウンロードしてご確認ください！
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空気清浄濃度の多点測定の必要性と実現方法